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DBC陶瓷敷銅燒結(jié)爐/氧化爐
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關(guān)鍵字:退磁爐,固溶爐,實(shí)驗(yàn)氣氛爐,回火爐,井式爐,淬火爐
dbzzDBC陶瓷敷銅燒結(jié)爐/氧化爐
DBC直接覆銅陶瓷基板采用DBC工藝制作,DBC英文簡稱是”Direct Bonding Copper”,直接覆銅陶瓷基板的意思。DBC陶瓷覆銅基板是采用陶瓷粉體如氧化鋁,氮化鋁,或者摻雜氧化鋯,經(jīng)過流延,燒結(jié)制成陶瓷基板,然后進(jìn)行金屬化,制備成陶瓷覆銅板。
直接覆銅(DirectBond Copper,簡稱DBC)陶瓷基板是一種將高絕緣性的氧化鋁(Al2O3)或氮化鋁(AlN)陶瓷基板覆上銅金屬的新型復(fù)合材料。經(jīng)由高溫1065~1085℃的環(huán)境加熱,使銅金屬因高溫氧化、擴(kuò)散與陶瓷產(chǎn)生共晶熔體,使銅與陶瓷基板黏合,形成陶瓷復(fù)合金屬基板;然后根據(jù)線路設(shè)計(jì)菲林貼膜曝光顯影,通過蝕刻方式備制線路基板。 主要應(yīng)用于功率半導(dǎo)體模塊封裝、制冷器及高溫墊片。
  本設(shè)備主要用于陶瓷覆銅箔在N2或N2、O2混合氣氛條件下的高溫氧化、燒結(jié)等高溫?zé)崽幚淼龋唧w說明如下:
  1額定溫度:1100℃;更高溫度:1150℃
  2有效高度:80mm
  3網(wǎng)帶寬度:200mm
  4網(wǎng)帶材質(zhì):SUS314
  5更大負(fù)載:50Kg/m2(不含網(wǎng)帶自重)
  6爐膛結(jié)構(gòu):采用大爐腔結(jié)構(gòu)和厚10mm SUS310S馬弗爐管結(jié)構(gòu)
  7傳動(dòng)系統(tǒng):大包角摩擦傳動(dòng)
  8調(diào)速范圍:25150mm/min,變頻無級(jí)調(diào)速
  9加熱元件:陶瓷棒外繞高溫合金絲(進(jìn)口KANTHAL加熱絲)
  10燒結(jié)氣氛:氮?dú)?氧氣

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